[实用新型]自动溶液配制装置和半导体处理系统有效
| 申请号： | 202122719933.4 | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN216879164U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 马杰 | 申请（专利权）人： | 无锡华瑛微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | B01F35/71 | 分类号： | B01F35/71;B01F35/80;B01F35/13;B01F35/11;B01F23/45;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种自动溶液配制装置和半导体处理系统。所述溶液自动配制装置包括：管线；五个旋转阀，其中第一旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种稀释液，第二旋转阀的共用通孔通过管线与第一旋转阀的共用通孔连通，第三旋转阀的共用通孔与第四旋转阀的一个选用通孔连通，第四旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种原液，第五旋转阀的至少一个选用通孔通过管线与配制液容器连通，第五旋转阀的一个选用通孔通过管线连通废液收集容器或废液排放管道；第一定量环，连通于第二旋转阀的一个选用通孔和第三旋转阀的一个选用通孔之间；第二定量环，连通于第四旋转阀的共用通孔和第五旋转阀的共用通孔之间。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 溶液 配制 装置 半导体 处理 系统 | ||
【主权项】：
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