[实用新型]动热源式全方位微机械角速度传感器有效
| 申请号： | 202122867754.5 | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN216209244U | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;张严;佟嘉程;王灯山 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种动热源式全方位微机械角速度传感器，该陀螺包括基底层、上敏感层、下敏感层和盖板；上敏感层的中心位置设置有全方位振子加热器(动热源)，通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正八边形分布的八个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；上敏感层、下敏感层键合构成敏感层；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现角速度全方位上的测量，不受方位角的限制，量程大、测量误差小，检测准确度高，具有结构紧密、易于智能化和集成化等特点。同时它具有成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和抗冲击性能。 | ||
| 搜索关键词： | 热源 全方位 微机 角速度 传感器 | ||
【主权项】：
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