[实用新型]一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置有效
| 申请号： | 202122872318.7 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN216561393U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 胡青;徐杰;李哲轩 | 申请（专利权）人： | 迈达微（深圳）半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;C25C7/00 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 杨春;谢志龙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种超声波振荡显影及蚀刻循环液活化处理装置，包括：分离罐、安装在所述分离罐上的至少两根电解棒、超声波发生器、连接在所述分离罐底部的残渣收集箱，所述分离罐与所述残渣收集箱之间设置有排渣阀门；所述分离罐内设置有容纳腔，所述容纳腔与所述残渣收集箱相连通，所述电解棒的电解端伸入至容纳腔内，所述超声波发生器安装在所述容纳腔内。本实用新型通过超声波发生器配合电解棒进行作用，可有效的激活循环液，无需添加还原液，即可将循环液的活性还原如初，有效降低生产成本，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 振荡 显影 蚀刻 循环 活化 处理 装置 | ||
【主权项】：
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