[实用新型]一种工件蚀刻装置

摘要

本实用新型提供了一种工件蚀刻装置，包括第一喷淋箱、工件载台和缓冲导流平台，工件载台用于承载待蚀刻的工件，第一喷淋箱固定连接在底板的一端，包括第一箱本体和第一喷淋部，第一喷淋部设于第一箱本体的一侧外壁上，包括开设有第一溢流口的第一导流台，第一导流台的出口具有朝下倾斜的第一斜面，第一溢流口位于第一斜面的上方，工件载台和缓冲导流平台均设于底板上，缓冲导流平台具有位于第一斜面下方的缓冲平面部和朝下倾斜的第二斜面。本实用新型的工件蚀刻装置可以在工件化学蚀刻过程中对工件表面实现均匀浸润，且不损伤蚀刻出来的微结构，角度能够灵活调节，便于工件的取放，保证蚀刻效果。