[实用新型]氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜有效
| 申请号： | 202122926236.6 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN216667271U | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 徐涛;宋涛;汪佳;王建军 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/04 | 分类号： | F17D1/04;F17D3/01;B01D46/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜，氮气供给系统包括气路，气路包括：高速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供高流速氮气；与高速出气管并联设置的低速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供低流速氮气，低速出气管上设置有流量计二，低速出气管和高速出气管连通至氮气柜的内部腔体中；电磁阀，高速出气管和低速出气管上均安装有电磁阀；进气管，进气管的一端与外接氮气管路连通，进气管的另一端与高速气路和低速气路连通。本实用新型通过设置高速出气管和低速出气管，可以选择性地为氮气柜提供高流速或低流速氮气，大大减少了氮气浪费，经济效益高，节能环保。 | ||
| 搜索关键词： | 氮气 供给 系统 具有 | ||
【主权项】：
暂无信息
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