[实用新型]一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置有效
| 申请号： | 202122945408.4 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN216657548U | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 于海超;汪松;李尧尧;周明 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（上海）有限公司;湖北江城实验室 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B41/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;吴雨晴 |
| 地址： | 201304 上海市浦东新区自由贸易试验*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种晶圆平坦化工序中作为连接件的双面吸附装置，包括具有一定厚度的吸附本体，具有上下两个端面。吸附本体的上端面作为吸附抛光头的上吸附区，下端面作为吸附晶圆的下吸附区；内部设有气流通道。上吸附区开设有多组同心圆凹槽，圆凹槽均与气流通道连通；下吸附区开设有多个吸附孔，吸附孔均与气流通道连通；吸附孔呈同心圆状分布，同一圈上相邻两吸附孔之间的间距相同，且该间距由内圈向外圈梯度递减；下吸附区的边缘处设有密封圈，下端面向下凸出，作为晶圆的定位环，凸出段与下吸附区共同界定形成一用于安装晶圆的空间，凸出段的下端面高于或者持平于晶圆的下端面；密封圈与最外层吸附孔之间设有一隔离槽，隔离槽与气流通道连通。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平坦 化工 作为 连接 双面 吸附 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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