[实用新型]一种埚托结构及单晶炉有效
申请号: | 202122991010.4 | 申请日: | 2021-12-01 |
公开(公告)号: | CN216427481U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 陈红荣;赵玉兵;周洁 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 俞翠华 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种埚托结构及单晶炉,所述埚托结构包括第一埚托、第二埚托和卡合装置;所述第一埚托和第二埚托相对设置,二者之间存在间隙或填充有隔热碳毡;所述第一埚托的上表面形状与坩埚底部形状相匹配,用于紧贴坩埚底部;所述卡合装置设于所述第一埚托与第二埚托之间,用于卡合固定。本实用新型通过将埚托设置为类似三明治结构,包含相对设置的第一埚托和第二埚托,二者之间设有间隙或填充有隔热碳毡,能够避免坩埚底部热传导导致温度过低而结晶现象,降低断棱率,还可以降低拉晶过程中热量损失,起到节能降耗作用。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 单晶炉 | ||
【主权项】:
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