[实用新型]掩膜组件有效
申请号: | 202123010398.1 | 申请日: | 2021-12-02 |
公开(公告)号: | CN216427384U | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 黄新宇 | 申请(专利权)人: | 乐金显示光电科技(中国)有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 郭慧娟 |
地址: | 510530 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开一种掩膜组件,包括支撑框架和多个掩膜条,多个掩膜条交叉设置,并连接于支撑框架上,以划分形成多个矩形蒸镀区域,每个掩膜条均沿其宽度方向在支撑框架上的位置可调,每个掩膜条上均设置有遮蔽结构。通过沿掩膜条的宽度方向调节其在支撑框架上的位置,能够调节多个掩膜条划分形成的蒸镀区域的尺寸,使用时,可根据待蒸镀的玻璃基板上的待蒸镀区域调节掩膜条的位置,以使形成的蒸镀区域与玻璃基板上的待蒸镀区域对正,通用性强,另外,在有掩膜条并排设置的位置,掩膜条上的遮蔽结构能够遮挡相邻两掩膜条之间形成的竖向间隙,从而避免下方蒸镀源散发的有机物蒸汽污染玻璃基板上的非蒸镀区域。 | ||
搜索关键词: | 组件 | ||
【主权项】:
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