[实用新型]一种用于PECVD设备的硅片自定位镀膜载板

摘要

本实用新型公开了一种用于PECVD设备的硅片自定位镀膜载板，包括：载板本体，所述载板本体的内侧设有间隔筋，所述间隔筋的内侧设有硅片放置槽，所述间隔筋上均布有多个校正组件，多个所述校正组件均匀环绕在硅片放置槽四周，且校正组件的顶部呈圆弧状，所述校正组件用于辅助硅片在硅片放置槽内进行自动定位。本实用新型的硅片自定位镀膜载板具有结构紧凑、操作简单、自定位精度高且成本低廉等优点，极大地降低了自动化装载硅片设备的定位精度要求，同时也能避免了因载板运动过程中的抖动而导致硅片移出硅片放置槽范围。