[实用新型]一种具有稳定结构的晶圆检测装置有效
| 申请号： | 202123078718.7 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN215768887U | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 邓忠光;王进文;许锐;郑增强 | 申请（专利权）人： | 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01M11/02 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 黄行军;高炳龙 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其包括机架，压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机；相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机；所述机架上设置有平台和支架，所述平台通过隔振器与所述机架连接，所述支架与所述机架连接，所述平台上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架上设置有所述相机对位组件。本实用新型不仅可以实现对晶圆的导通检测，而且能够有效降低装置在运行过程中存在的共振风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 稳定 结构 检测 装置 | ||
【主权项】：
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