[实用新型]一种溅射靶材打磨装置

摘要

本实用新型公开了溅射靶材加工设备领域的一种溅射靶材打磨装置，包括工作台，工作台的上表面固定连接有支撑架，且支撑架的形状设置为L型，支撑架的上表面设置有打磨机构，工作台的下表面设置有清洁机构，打磨机构包括气缸、固定架、电机、打磨刷、齿条、双向丝杆、齿轮、移动架、保护垫和移动轮，支撑架的上表面固定连接有气缸，气缸的活动端固定连接有固定架和电机，电机位于固定架的下表面，电机的输出端固定连接有打磨刷，固定架的圆周面固定连接有齿条，工作台的上表面活动连接有双向丝杆，本实用新型，可以固定夹紧定位槽中的溅射靶材来防止打磨操作时，溅射靶材发生位移导致打磨的光洁度和平面度达不到标准要求。