[实用新型]一种微细电路三光束激光刻蚀装置有效
| 申请号： | 202123111214.0 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN216531990U | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 林金明;林静;李春山 | 申请（专利权）人： | 无锡锐玛克科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;G01N21/95;G01B11/02 |
| 代理公司： | 江苏无锡苏汇专利代理事务所(普通合伙) 32593 | 代理人： | 沈彬彬 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及微细电路板刻蚀技术的领域，尤其涉及一种微细电路三光束激光刻蚀装置，其包括底座，底座上设有治具座，底座上设有用于调节治具座位置的调节机构，底座上连接有支撑块，支撑块上安装板，安装板位于治具座的上方，安装板上设有定位组件、实时检测组件、测距仪、高度补偿模组和控制单元，控制单元包括激光器和3D动态聚焦振镜，高度补偿模组通过测距仪测定光源距待刻蚀电路板表面的距离。本申请具有保证大范围加工时激光聚焦的位置精度和微细电路激光刻蚀的效率与质量的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微细 电路 光束 激光 刻蚀 装置 | ||
【主权项】：
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