[实用新型]一种磁控溅射用端头性能检测装置

摘要

本实用新型涉及一种磁控溅射用端头性能检测装置，包括机体和氦气检测仪，所述机体上侧的左方安装有检测腔体，所述检测腔体的上侧安装有待测端头，所述待测端头内的后侧安装有伺服马达，所述机体前侧的左上方安装有控制面板，所述机体前侧的左右两方分别安装有一处压力表，所述机体前侧的中间安装有U形压力计，所述机体的前侧安装有阀门；本实用新型一种磁控溅射用端头性能检测装置，通过在待检端头的右方设置冷却水回路、真空回路和冷却水旁路，利用和阀门、压力表、U形压力计、差分泵、接口、氦气检测仪的配合，可以对磁控溅射用端头操作环境的密封性进行全面精准地检测，为磁控溅射操作的正常进行保驾护航。