[实用新型]功率半导体器件自动化测试用器件搬运装置有效

专利信息
申请号: 202123196119.5 申请日: 2021-12-17
公开(公告)号: CN218402643U 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 宋志威;张军辉;张文亮;朱阳军 申请(专利权)人: 山东阅芯电子科技有限公司
主分类号: B65G47/91 分类号: B65G47/91
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 韩凤
地址: 264300 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型涉及一种功率半导体器件自动化测试用器件搬运装置。其包括真空吸附搬运机构以及搬运驱动机构;所述真空吸附搬运机构包括能与功率半导体器件适配的器件定位块、若干设置于器件定位块吸附面的器件吸盘以及与所述器件吸盘适配连接的真空吸附源;通过搬运驱动机构能使得器件定位块对准后压盖在功率半导体器件上,通过真空吸附源所产生的吸附作用力能使得功率半导体器件吸附在器件吸盘上;通过搬运驱动机构提拉器件定位块时,吸附在器件吸盘上的功率半导体器件能与器件载盘分离。本实用新型结构紧凑,能精准快速实现将功率半导体器件取出搬运,提高测试的效率与可靠性。
搜索关键词: 功率 半导体器件 自动化 测试 器件 搬运 装置
【主权项】:
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