[实用新型]晶舟盒

摘要

本实用新型公开了一种晶舟盒，包括壳体、手柄和保护机构，壳体的前端设有用于晶圆进出的开口，手柄设置在壳体上，保护机构包括前挡件、压触件和联动组件，前挡件在第一位置和第二位置之间可活动地设置在壳体上，在第一位置时前挡件至少部分位于插槽的前方以将晶圆挡在壳体内，在第二位置时前挡件避开插槽的前方，压触件设在手柄上或临近手柄设在壳体上，联动组件连接在前挡件和压触件之间；压触件相对手柄可活动，且压触件被压时通过联动组件带动前挡件活动至第一位置。通过前挡件的阻挡作用，可有效防止在搬运过程中晶圆滑落，在手握手柄的同时自行控制前挡件阻挡晶圆，无需在搬运前控制前挡件的模式切换，简化操作步骤，使用过程简单方便。