[实用新型]一种用于链式抛光的装置

摘要

本实用新型设计了一种用于链式抛光的装置，包括抛光槽、传动模块、控温模块、液流循环模块和控制部，所述传动模块设置在抛光槽的槽口处，所述控温模块和液流循环模块设置在抛光槽的壁面内，所述控制部设置在抛光槽外侧，抛光槽的槽口处设置有上层辊轴安装槽和下层辊轴安装槽，传动模块安装在上层辊轴安装槽和下层辊轴安装槽内。本实用新型能够调整辊轮之间的间距，提高抛光过程的可控性，保证产品质量。每根传动辊和带液辊上均设置有独立的驱动电机，能够进行速度调节保证抛光过程的精确程度。具有液流循环功能，避免上下层液体出现温差、上下层液体出现浓度差引起的蚀刻液不均匀的问题。