[实用新型]化学气相沉积设备腔体维护用开合机构

摘要

本实用新型是化学气相沉积设备腔体维护用开合机构，其结构包括顶部带有腔体盖的腔体本体，腔体盖后侧边缘通过转动支架转动连接腔体本体，转动支架包括腔体盖后侧边缘的转动条和与转动条转动连接的腔体本体对应位置两侧的连接条；腔体本体两侧分别设有电机，电机连接丝杆螺母副，丝杆螺母副通过升降支架组件连接腔体盖两侧面，腔体本体一侧面还设有遥控器，遥控器与电机信号连接。本实用新型的优点：结构设计合理，改善了开关腔体的方式，实现了轻松开关腔体上方结构，且有效降低腔体开关的危险性，降低安全隐患，保护工作人员和腔体安全。