[实用新型]片盒数片机构及晶圆清洗设备有效
| 申请号： | 202123287374.0 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN217157322U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 龚泽熙;李雄朋;庄海云 | 申请（专利权）人： | 创微微电子（常州）有限公司 |
| 主分类号： | G06M1/272 | 分类号： | G06M1/272;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 陈贤荣 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种片盒数片机构及晶圆清洗设备，其中片盒数片机构，包括：料台，安装在料台上的片盒，该片盒间隔设有多个晶圆槽；安装在料台上的定位件，该定位件设有与多个晶圆槽一一对应的定位结构；扫描装置，包括：计数传感器、定位传感器、驱动计数传感器和定位传感器同步运动的动力机构；定位传感器逐个扫描定位结构以确定扫描装置与晶圆槽的对应位置，计数传感器逐个扫描晶圆槽是否有晶圆。该片盒数片机构及晶圆清洗设备采用简单的传感器及其驱动结构，解决现有晶圆传感器结构可靠性问题并大幅节省设备成本，是一种数片计数及定位准确且可靠性高、返修少、故障率及成本低，尤其适合晶圆槽式半导体湿法清洗设备的上下料装置的数片作业。 | ||
| 搜索关键词： | 片盒数片 机构 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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