[实用新型]一种晶圆加工用传送装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆加工用传送装置，其技术要点是：包括传送台，所述传送台的表面上开设有第一安装槽，所述第一安装槽内安装有输送带，所述传送台的一侧表面上开设有两个对称的第二安装槽，所述第二安装槽内安装有移动机构，所述移动机构上安装有两个第一伺服电缸，所述第一伺服电缸上安装有弓型板，所述弓型板上安装有无杆气缸；所述无杆气缸的输出端上安装有第一安装板，所述第一安装板上固定安装有角度调节机构，通过角度调节机构方便调节真空吸盘的转动角度，从而调节了晶圆的传送角度，保持晶圆的输送角度一致，提高下一步工序的加工效率，通过视觉传感器大大提高晶圆角度调整的精度。