[实用新型]一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器有效
| 申请号： | 202123303059.2 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN216726466U | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 谈逊;谈谦;刘宁波;刘才;吴曦;王占玲 | 申请（专利权）人： | 华厦半导体（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/20 | 分类号： | B01D50/20;B01D5/00 |
| 代理公司： | 合肥市都耒知识产权代理事务所(普通合伙) 34227 | 代理人： | 何鑫鑫 |
| 地址： | 518117 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本实用新型公开了一种HVPE反应产生的氯化铵气体的冷凝过滤器，包括机壳，所述机壳的外缘设置有冷凝罩，所述机壳上固定连通有进气通路与出气通路，所述冷凝罩上固定连通有两个冷源通路，所述机壳的内顶面固定连接有空心柱体，所述空心柱体远离机壳内顶面的一端装配有滤芯，所述滤芯与出气通路的一端相连接，所述机壳的底端设置有可拆卸的收集盒，所述机壳的内部设置有扰流组件，所述空心柱体上设置有振动机构。本实用新型在使用时，在多个扰流件的扰流作用下，气体能够反复多次的与机壳的内面相接触，使得气体内掺杂的NH |
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| 搜索关键词： | 一种 hvpe 反应 产生 氯化铵 气体 冷凝 过滤器 | ||
【主权项】：
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