[实用新型]一种储存半导体材料的容器真空置换及测漏装置有效
| 申请号： | 202123306008.5 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN216386154U | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏;邓涛;魏学成;刘长城;张霞;陈文全;耿双萍 | 申请（专利权）人： | 大连恒坤新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04 |
| 代理公司： | 大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 21242 | 代理人： | 张海燕;马玉戈 |
| 地址： | 116000 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种储存半导体材料的容器真空置换及测漏装置，包括：第一管线、第二管线、第三管线、氦气测漏仪及真空泵，所述第一管线通过第五阀门与容器连接，所述第二管线通过第六阀门与容器连接，所述第三管线与所述真空泵连接。本实用新型公开了一种储存半导体材料的容器真空置换及测漏装置，通过对容器内充入氦气能够准确快速的找到漏点，伴热带对容器进行加热，能够更好的除去容器中的水分，将容器中的水分进行快速的置换；另外，只需将容器进行更换，即可对多个容器完成检测，且检测时间短，不需要耗费大量的人力和物力资源，检测成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 储存 半导体材料 容器 真空 置换 装置 | ||
【主权项】：
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