[实用新型]一种石英坩埚以及单晶热场有效
| 申请号： | 202123318951.8 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN216998661U | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 晏美仁;张桥清;陈永康;张龙龙;段慧芳;杨树荣;杨雪花;李济和;梅富然 | 申请（专利权）人： | 保山隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 678000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英坩埚以及单晶热场，涉及直拉单晶技术领域，以提供一种降低石英坩埚外层外侧失效反应，延长坩埚使用寿命的技术方案。石英坩埚包括第一石英层、石英叠层以及第二石英层。从石英坩埚内层至外层的方向，第一石英层、石英叠层与第二石英层层叠设置。其中，石英叠层至少包括第一石英气泡层，第一石英层和第二石英层中单位面积上的气泡数量均小于石英气泡层中单位面积上的气泡数量，且第一石英层和第二石英层中气泡的尺寸参数小于石英气泡层中气泡的尺寸参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 坩埚 以及 单晶热场 | ||
【主权项】：
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