[实用新型]石英盘取放工具

摘要

本实用新型提供了一种石英盘取放工具，包括：导向杆；固定手柄，固定手柄连接于导向杆的第一端；活动手柄，活动手柄滑动地连接于导向杆；活动手柄的一端设置有托举片，托举片用于抵接于石英盘的底壁，在活动手柄沿着导向杆移动的情况下，托举片带动石英盘移动。通过操纵该石英盘取放工具的活动手柄沿导向杆滑动，可以令活动手柄上设置的托举片带动石英盘同步运动，完成石英盘的取放操作，进而极大程度上降低了取放石英盘的操作难度，并可以在石英盘相对于加热盘的取放过程中，降低碰碎加热盘管上易碎元件的可能性，有利于保护MOCVD工艺的相关设备。