[实用新型]铝镓氮势垒层厚度测量结构有效
| 申请号： | 202123409026.6 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN216717255U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 宁殿华;蒋胜;柳永胜;程新 | 申请（专利权）人： | 苏州英嘉通半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 周仁青 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种铝镓氮势垒层厚度测量结构，包括：衬底；位于衬底上的异质结，异质结包括氮化镓沟道层和铝镓氮势垒层，氮化镓沟道层与铝镓氮势垒层的界面处形成有二维电子气；位于异质结上的第一金属层，第一金属层与二维电子气电气连接；位于第一金属层及异质结上的第一钝化层；位于部分第一钝化层上的第二钝化层；位于第一钝化层上的第二金属层，第二金属层包括第一金属极板及第二金属极板；位于第二钝化层上的第三金属层，第三金属层包括第三金属极板及第四金属极板。本实用新型的测量结构可形成四个平行板电容器，基于电压‑电容特性测试及平行板电容器电容公式可以最终获得两个铝镓氮势垒层的厚度值。 | ||
| 搜索关键词： | 铝镓氮势垒层 厚度 测量 结构 | ||
【主权项】：
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