[实用新型]一种雾化清洗机有效
| 申请号： | 202123432863.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN217191176U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 郑金龙;周铁军;马金峰;吴倩;詹晨晨 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511500 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种雾化清洗机，旨在提高晶片的清洗效率，其技术方案：一种雾化清洗机，包括机座，所述机座上设有一清洗筒，所述清洗筒的一端为开放端且其上设有一盖体；所述清洗筒内设有固定模块、药液输出装置，所述固定模块用于固定晶片，所述药液输出装置通过一管道与一供液模块连接将药液扩散输出到清洗筒内，所述固定模块通过一驱动模块驱动围绕着所述药液输出装置公转，属于晶片清洗技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 雾化 清洗 | ||
【主权项】：
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