[外观设计]用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件有效

专利信息
申请号: 202130375279.2 申请日: 2021-06-17
公开(公告)号: CN306961539S 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 耀鸿·杨;埃里克·鲁兰;索拉布·M·乔达里;迪-业·吴;菲利普·韦恩·纳格尔;阿尼茹达·帕;苏希尔·R·冈德哈勒卡尔;锡亚马克·萨利米安;斯科特·林;陈文森 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: 08-08 分类号: 08-08
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 1.本外观设计产品的名称:用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件(以假想线绘制)的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分,并且不构成所要求保护的设计的部分。
搜索关键词: 用于 沉积 腔室中 喷头 水箱 组件 密封件
【主权项】:
暂无信息
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