[发明专利]半导体装置及其制造方法在审
| 申请号： | 202180004173.9 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114270532A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 郝荣晖;何川;何清源;黄敬源 | 申请（专利权）人： | 英诺赛科（苏州）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/06;H01L21/335 |
| 代理公司： | 深圳宜保知识产权代理事务所(普通合伙) 44588 | 代理人： | 王琴;曹玉存 |
| 地址： | 215211 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 半导体装置包含第一和第二氮化物基半导体层、掺杂的氮化物基半导体层、多个带负电离子、源极电极以及漏极电极。所述带负电离子选自高度电负性基团且分布在多个耗尽区内，所述耗尽区从所述掺杂的氮化物基半导体层向下延伸且位于栅极电极下方。任何一对相邻耗尽区彼此分离。所述源极电极安置在所述第二氮化物基半导体层上方且与所述耗尽区间隔开。所述漏极电极安置在所述第二氮化物基半导体层上方且与所述耗尽区间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于英诺赛科（苏州）科技有限公司，未经英诺赛科（苏州）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180004173.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
