[发明专利]用于OCD数据解释的自我监督表征学习

摘要

提供了一种用于OCD计量的系统和方法，包括：接收多个第一组散射数据，将每个组分为k个子向量，并且以自我监督的方式训练，将k个子向量中的每个映射到彼此的k2个自动编码器神经网络。随后，接收多组各自的参考参数和多个相应的第二组散射数据，并训练转移神经网络(NN)。初始层包括k2个编码器神经网络的并行排列。转移NN训练的目标输出设置为多组参考参数，特征输入设置为多个相应的第二组散射数据，以使转移NN被训练以从随后测量的散射数据集中估计新的晶片图案参数。