[发明专利]法布里-珀罗干涉仪系统上的集成检测器在审
| 申请号： | 202180010166.X | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN115023593A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 哈维尔.米格尔桑切斯 | 申请（专利权）人： | ams传感器新加坡私人有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G01J3/28;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邓亚楠 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种法布里‑珀罗干涉仪系统上的集成检测器。一种光学传感器。光学传感器包括基板和法布里‑珀罗干涉仪。基板由半导体形成。法布里‑珀罗干涉仪包括第一反射镜和第二反射镜，并且安装在基板上，使得光透射通过干涉仪到基板。基板被掺杂，使得光通过干涉仪透射到的基板的区域形成光电二极管。 | ||
| 搜索关键词： | 法布里 干涉仪 系统 集成 检测器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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