[发明专利]操作带电粒子枪的方法、带电粒子枪和带电粒子束装置在审
| 申请号： | 202180011956.X | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN115280458A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | D·温克勒 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/073 | 分类号： | H01J37/073;H01J37/21;H01J37/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 描述一种操作带电粒子枪(102)的方法。所述方法包括：在所述带电粒子枪内设置处于第一发射极电位的发射极(122)，并且在所述带电粒子枪内设置处于第一电极电位的捕获电极(142)，其中所述第一发射极电位和所述第一电极电位被设置以在所述发射极处且在所述捕获电极处具有基本为零的电场；将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至与所述第一电极电位不同的第二电极电位，以在所述捕获电极处生成静电捕获场；以及在将所述捕获电极从所述第一电极电位切换至所述第二电极电位之后，开启所述发射极处的静电发射场。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 带电 粒子 方法 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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