[发明专利]用于表面处理加工的脉冲电感耦合等离子体的方法和设备在审
| 申请号： | 202180012278.9 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN115066736A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢挺;李昊辰;孟双;张其群;D·科尔;马绍铭;杨海春;仲華;R·帕库勒斯柯;杨晓晅 | 申请（专利权）人： | 玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京易光知识产权代理有限公司 11596 | 代理人： | 梅丹丹;阎敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供了使用等离子体处理工件的设备和方法。在一种示例性实施方式中，设备可以包括处理腔室。该设备可以包括限定侧壁的介电管的等离子体腔室。该设备可以包括电感耦合等离子体源。该电感耦合等离子体源包含被配置为激励设置在介电管周围的感应线圈的RF发生器。该设备可以包括将处理腔室与等离子体腔室分开的分离格栅。该设备可以包括被配置为在脉冲模式下操作电感耦合等离子体源的控制器。在脉冲模式下，RF发生器被配置为向感应线圈施加多个RF功率脉冲。脉冲频率可以在约1kHz至约100Hz的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面 处理 加工 脉冲 电感 耦合 等离子体 方法 设备 | ||
【主权项】：
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