[发明专利]控制装置、控制方法以及程序在审
| 申请号： | 202180013227.8 | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN115053193A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 灰塚真浩;小园英俊;三好史浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社大赛璐 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 金兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明求出高精度、满足所希望的基准的生产设备的运转条件。控制装置包括控制部，该控制部以满足使用工艺数据中的至少一部分定义的限制条件来对使用工艺数据中的至少一部分定义的目的函数进行最优化的方式，针对预先决定的调整对象的工艺数据求出最优解，基于该最优解来控制生产设备。此外，存储装置中还存储有已学习模型，该已学习模型基于因果关系信息对从生产设备获得的工艺数据的特征进行了学习，其中，该因果关系信息对作为说明变量的第一工艺数据与作为目的变量的第二工艺数据的组合进行定义，限制条件包括：第二工艺数据或与该第二工艺数据相应的值是使用第一工艺数据和已学习模型计算出的值的条件；以及针对工艺数据中的至少一部分的上限值或下限值。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 装置 方法 以及 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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