[发明专利]光学计量系统和方法在审
| 申请号： | 202180016485.1 | 申请日： | 2021-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN115176147A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 吉拉德·巴拉克;阿米尔·沙亚里 | 申请（专利权）人： | 诺威有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01B11/02;G01N21/956;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁丽超 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于光学计量测量的测量系统。该测量系统包括处理原始测量数据的控制系统，原始测量数据指示响应于入射到样品的顶部部分的照明电磁场而在样品上测量的光谱干涉信号并且光谱干涉信号包括所述样品基本上不吸收的至少一个光谱范围。处理包括：从原始测量数据中提取光谱干涉信号的一部分，光谱干涉信号的一部分描述在干涉测量期间随着光路差OPD的改变而变化的信号强度，提取信号部分与响应于所述照明电磁场从样品的底部部分返回的干涉信号无关；以及从所述提取部分中直接确定来自样品的顶部部分的电磁场的反射的光谱振幅和相位，从而确定表征样品的顶部部分的测量光谱特征。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 计量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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