[发明专利]具有改进的性能的MEMS换能器在审
| 申请号： | 202180016496.X | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN115280797A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 阿尔方斯·德厄;阿希姆·比特纳;伦尼·卡斯特利亚诺斯 | 申请（专利权）人： | 哈恩-席卡德应用研究学会 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00;H04R7/14 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 张云娇 |
| 地址： | 德国维林根*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS换能器，其包括用于产生或拾取流体中的在竖直方向上的压力波的可振动膜(1)，其中可振动膜(1)由承载件(4)支撑并且可振动膜(1)具有两个或更多个竖直部分(2)，这些竖直部分平行于竖直方向形成并且包括至少一个致动器材料的层(11)。可振动膜(1)的端部与电极(13)接触，这意味着至少一个电极(13)的致动允许激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动，或者意味着激励两个或更多个竖直部分(2)产生水平振动使得能够在至少一个电极处(13)产生电信号。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 性能 mems 换能器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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