[发明专利]静电透镜设计在审
| 申请号： | 202180017436.X | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN115176326A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | L·德尔·廷;A·J·施特格曼;G·阿克斯诺夫;D·马丁内斯·内格雷特·加斯奎;P·L·勃兰特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/10 | 分类号： | H01J37/10;H01J37/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开了一种用于使带电粒子束聚焦的操纵器透镜装置，其中该操纵器透镜装置包括：第一结构(401)，通过该第一结构(401)形成开口，其中束路径基本上沿着开口的纵向轴线；具有包围开口的表面(406)的第二结构(402)；支撑件(403)，将第二结构连接到第一结构并包围第二结构；以及电极布置(407)，被设置在第二结构的表面(406)上，其中第一结构(401)的第一表面(404)包围开口，第一结构(401)的第二表面(405)包围开口，第二结构(402)的表面(406)沿着纵向轴线被布置在第一结构的第一和第二表面之间，电极布置(407)与第一结构(401)的第一(404)和第二(405)表面中的每一者在平行于纵向轴线的方向上通过相应的间隙彼此分离，其中，沿着纵向轴线，支撑件(403)的范围小于第二结构和/或电极布置(407)的表面(406)的范围。还公开了一种多阵列透镜，被配置为沿着多束路径使多个带电粒子子束聚焦，其中该阵列中的每个透镜包括所述操纵器透镜装置。 | ||
| 搜索关键词： | 静电透镜 设计 | ||
【主权项】：
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