[发明专利]用气相注入敏化剂对EUV干式抗蚀剂进行敏化的装置和工艺在审
| 申请号： | 202180025525.9 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN115398336A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 希瓦南达·克里希南·卡纳卡萨巴帕蒂;萨曼塔·S·H·坦;游正义;李英熙;艾伦·J·詹生;李达 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有敏化抗蚀剂膜的堆叠件，以及用于施加这种敏化膜的方法和装置。在特定实施方案中，敏化剂可以气体形式提供，并且可以在沉积步骤之后回收未反应的敏化剂前体。 | ||
| 搜索关键词： | 用气相 注入 敏化剂 euv 干式抗蚀剂 进行 装置 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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