[发明专利]微波驱动的等离子体离子源在审
| 申请号： | 202180027304.5 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN115380628A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | M·坦纳 | 申请（专利权）人： | 托夫沃克股份公司 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30;H01J49/10;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将待电离样品电离成样品离子的微波驱动的等离子体离子源(1)，该微波驱动的等离子体离子源(1)包括用于将样品从微波驱动的等离子体离子源(1)的外部送入微波驱动的等离子体离子源(1)的内部(3)的样品入口(6)；用于生成微波以从等离子体气体(100)生成等离子体(101)的微波发生器(10)；提供等离子体炬的定向方向(29)的等离子体炬(20)具有内部(21)，用于容纳(2)由等离子体气体(100)生成等离子体(101)的过程以及通过将样品暴露于等离子体(101)而将样品电离成样品离子的过程，其中等离子体炬(20)包括炬出口(22)，其用于将等离子体(101)和样品离子基本上沿着等离子体炬的定向方向(29)从等离子体炬(20)的内部(21)排放至外部，炬出口(22)具有炬孔径。此外，微波驱动的等离子体离子源(1、201)包括屏蔽层(4)，其用于屏蔽从微波驱动的等离子体离子源(1)的内部(3)传送至微波驱动的等离子体离子源(1)的外部的微波，其中屏蔽层(4)包括屏蔽出口(5)，其用于将等离子体(101)和样品离子基本上沿着等离子体炬定向方向(29)从微波驱动的等离子体离子源(1)的内部(3)排放至微波驱动的等离子体离子源(1)的外部，屏蔽出口(5)具有屏蔽孔径。由此，屏蔽出口(5)与炬出口(22)流体耦合，以将等离子体(101)和样品离子基本上沿着等离子体炬的定向方向(29)从等离子体炬(20)的内部(21)排放至微波驱动的等离子体离子源(1)的外部，其中屏蔽孔径的尺寸小于炬孔径的尺寸的150％优选小于炬孔径的尺寸的125％、特别优选小于炬孔径的尺寸的110％。屏蔽孔径的尺寸和炬孔径的尺寸均以面积为单位测量。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 驱动 等离子体 离子源 | ||
【主权项】：
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