[发明专利]具有分层堆叠的金属-绝缘体-金属(MIM)能量存储装置和制造方法在审
| 申请号： | 202180027427.9 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN115428107A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | M·沙菲克·卡比尔;文森特·德马里斯;安德斯·约翰逊;奥拉·特维曼;卡尔·伦达尔;里卡德·安德森;穆罕默德·阿明·萨利姆;玛丽亚·比隆德;维克多·马克纳斯 | 申请（专利权）人： | 斯莫特克有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/005 | 分类号： | H01G4/005;H01G4/06;H01G4/30;H01L27/02;H05K1/18;B82B1/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杜诚;姚文杰 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种MIM能量存储装置，该MIM能量存储装置包括底部电极；多个导电垂直纳米结构；保形地涂覆多个导电垂直纳米结构中的每个纳米结构的底部传导控制层；以及传导控制层和电极层交替的分层堆叠，该分层堆叠保形地涂覆底部传导控制层，该分层堆叠至少包括在分层堆叠的底部处的第一奇数编号的电极层，直接在第一奇数编号的电极层上的第一奇数编号的传导控制层，以及直接在第一奇数编号的传导控制层上的第一偶数编号的电极层。分层堆叠中的每个偶数编号的电极层导电地连接至底部电极；以及分层堆叠中的每个奇数编号的电极层导电地连接至分层堆叠中的任何其他奇数编号的电极层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分层 堆叠 金属 绝缘体 mim 能量 存储 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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