[发明专利]一种包含碳材料、金属有机化合物和溶剂的旋涂组合物以及一种在基材上方制造金属氧化物膜的方法在审
| 申请号： | 202180028289.6 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN115427890A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 关藤高志;赵俊衍 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/09 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种包含碳材料和金属有机化合物的旋涂组合物。本发明还涉及使用其在基材上方形成金属氧化物膜和制造器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 材料 金属 有机化合物 溶剂 组合 以及 基材 上方 制造 氧化物 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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