[发明专利]驱动装置、光学系统与光刻设备在审
| 申请号： | 202180029912.X | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN115461987A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | O.赫伯斯特;C.里希特 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H03F3/217 | 分类号： | H03F3/217;G02B5/00;G03F7/00;H02M3/158 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于驱动光学系统(300)的致动器(200)的驱动装置(100)，其包含：开关放大器(110)，用于根据调制信号以产生放大信号(aPWM)；滤波器单元(120)，其连接在致动器(200)与开关放大器(110)之间，并具有至少一个电感(121)；提供单元(130)，用于提供供应电压；以及两象限控制器(140)，其具有反馈能力，并耦接于提供单元(130)与开关放大器(110)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 光学系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180029912.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于内窥镜的手柄
- 下一篇：差动排气装置及聚焦能量束装置
