[发明专利]用于旋转光学物镜的设备及方法在审
| 申请号： | 202180032556.7 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN115516361A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | A·罗曼诺夫斯基;J-K·龙;D·卡瓦德杰夫;王春海;B·怀特塞德;志伟·史蒂夫·许 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/10 | 分类号： | G02B21/10;G02B21/00;G02B21/26;G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种暗场光学系统可包含旋转物镜组合件，所述旋转物镜组合件具有：暗场物镜，其在集光数值孔径内从样本收集光，其中所述暗场物镜包含相对于光学轴成对称相对方位角的入口孔隙及出口孔隙；旋转轴承，其允许包含所述入口孔隙及所述出口孔隙的所述暗场物镜的至少一部分绕所述光学轴旋转；及旋转驱动器，其控制所述入口孔隙的旋转角度。所述系统还可包含使用以两个或更多个照明方位角穿过所述入口孔隙的照明光束来照明所述样本的多角度照明子系统，其中所述照明光束在所述样本上的方位角可通过将所述物镜旋转到所述两个或更多个照明方位角中的任何者而选择。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 旋转 光学 物镜 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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