[发明专利]正型感光性树脂组合物、干膜、图案涂膜及电子部件在审
申请号: | 202180032905.5 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN115516375A | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 秋元真步;国土萌衣;绪方寿幸;石川信广;有光晃二 | 申请(专利权)人: | 太阳控股株式会社;学校法人东京理科大学 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/40 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供稳定地带来良好的显影对比度的正型感光性树脂组合物。本发明为一种正型感光性树脂组合物,其包含:(A)具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的羧基的聚酰胺酸、具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的酚性羟基的聚酰亚胺或具有被通过碱的作用而脱离的保护基团保护的酚性羟基的聚苯并噁唑前体;及(B)光产碱剂,所述光产碱剂是通过共价键将酸解离常数pKa为10.8以上的碱性化合物潜在化而成的。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 图案 电子 部件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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