[发明专利]用于制造包括由矿物材料制成的外围壁的检测装置的方法在审
| 申请号： | 202180036506.6 | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN115667864A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 若弗鲁瓦·迪蒙;让-雅克·约恩 | 申请（专利权）人： | 原子能和替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/04 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 程强;谢攀 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造检测装置(1)的方法，包括以下步骤：使用矿物牺牲层(61、62)制造热检测器(20)和封装结构(30)；使用酸性介质中的湿化学酸蚀部分地去除矿物牺牲层(61、62)，以释放热检测器(20)并获得外围壁(32)，以及释放封装薄层(31)的上部(31.1)；外围壁(32)随后具有横向凹陷，所述横向凹陷引起读出衬底(10)和上部(31.1)之间的空腔(2)的垂直扩大，该横向凹陷限定了中间区域(Zr)；制造加强柱(31.2)，其设置在热检测器(20)的矩阵阵列周围的中间区域(Zr)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 包括 矿物 材料 制成 外围 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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