[发明专利]使用声学计量表征图案化结构在审
| 申请号： | 202180037553.2 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN115667907A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | M·梅亨代尔;M·科特兰斯基;P·穆昆德汗;R·梅尔 | 申请（专利权）人： | 昂图创新有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12;G01N29/04;G01N29/44;G01B17/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 魏小薇;吴丽丽 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于诸如通过表征样本的图案化特征或结构来检测或表征样本的系统和方法。在一个方面，本技术涉及一种用于表征样本的图案化结构的方法。该方法包括将泵浦光束引导到样本的表面上的第一位置以在样本中诱导表面声波，以及将探测光束引导到样本上的第二位置，其中当探测光束从样本的表面反射时，探测光束受到表面声波的影响。该方法还包括检测经反射的探测光束，分析检测到的经反射的探测光束以识别经反射的探测光束中的频率模态，以及基于所识别的频率模态，确定样本中的图案化特征的宽度或间距中的至少一者。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 声学 计量 表征 图案 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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