[发明专利]光照射装置和试样观察装置在审
| 申请号： | 202180037629.1 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN115668027A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 小林正典;山本谕 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/06 | 分类号： | G02B21/06;G01N21/64;G02B5/00;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 光照射装置(2)包括：输出具有干涉性的光(L0)的光源(21)；具有聚光轴(F1)和与聚光轴(F1)交叉的非聚光轴(F2)，将光(L0)聚光于聚光线(K)上而生成面状光(L1)的聚光元件(23)；和具有限制从光源(21)朝向聚光元件(23)的光(L0)的光束的一部分的开口部(24)的孔遮罩(22)。孔遮罩(22)的开口部(24)具有以向沿着聚光元件(23)的聚光轴(F1)的方向延伸的方式配置的开口缘(25A)，在将开口缘(25A)投影于聚光线(K)上的情况下，该投影部分(P)具有线状的扩展。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 装置 试样 观察 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浜松光子学株式会社，未经浜松光子学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180037629.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
