[发明专利]镀覆装置及基板清洗方法在审
| 申请号： | 202180038910.7 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN116368268A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 辻一仁;山本健太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姜越 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明高效清洗基板。镀覆模块(400)包括：镀覆槽(410)，构成为收容镀覆液；基板保持器(440)，构成为保持被镀覆面(Wf‑a)朝向下方的基板(Wf)；旋转机构(446)，构成为使基板保持器(440)旋转；倾斜机构(447)，构成为使基板保持器(440)倾斜；以及基板清洗部件(472)，用于清洗基板保持器(440)所保持的基板(Wf)的被镀覆面(Wf‑a)，基板清洗部件(472)构成为从与通过倾斜机构(447)倾斜的基板(Wf)的下端对应的位置朝向与上端对应的位置，向通过旋转机构(446)旋转的基板(Wf)的被镀覆面(Wf‑a)排出清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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