[发明专利]电磁波检测器以及电磁波检测器组件在审

专利信息
申请号: 202180038946.5 申请日: 2021-03-10
公开(公告)号: CN115803897A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 小川新平;岛谷政彰;福岛昌一郎;奥田聪志 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L31/108 分类号: H01L31/108;G01J1/02
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 于丽
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 电磁波检测器(100)具备半导体层(4)、第1绝缘膜(3a)、二维材料层(1)、第1电极(2a)、第2电极(2b)、第2绝缘膜(3b)和控制电极(2c)。第1绝缘膜(3a)配置于半导体层(1)上。在第1绝缘膜(3a)形成有开口部(OP)。二维材料层(1)在开口部(OP)电连接于半导体层(4)。二维材料层(1)从开口部(OP)上延伸直至第1绝缘膜(3a)。第2绝缘膜(3b)与二维材料层(1)相接。控制电极(2c)隔着第2绝缘膜(3b)连接于二维材料层(1)。
搜索关键词: 电磁波 检测器 以及 组件
【主权项】:
暂无信息
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