[发明专利]感光性元件、固化物的制造方法、固化物图案的制造方法及线路板的制造方法在审
申请号: | 202180038977.0 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN116830037A | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 粂壮和;黑泽刚;贺口阳介;岩下健一;成田真生;加藤哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社力森诺科 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
一种感光性元件(1),其具备支撑膜(10)及配置于支撑膜(10)上的感光层(20),在支撑膜(10)的内部的最大直径1μm以上的缺陷的数量是每0.225mm |
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搜索关键词: | 感光性 元件 固化 制造 方法 图案 线路板 | ||
【主权项】:
暂无信息
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