[发明专利]铝-钪复合材料、铝-钪复合材料溅射靶及制备方法在审
| 申请号： | 202180040298.7 | 申请日： | 2021-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN115698349A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 大卫·彼得·范·希尔登;凯瑟琳·S·加迪尼尔;罗伯特·S·贝利 | 申请（专利权）人： | 万腾荣公司 |
| 主分类号： | C22C1/047 | 分类号： | C22C1/047;C22C21/00;C22C28/00;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 欧淑丽 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种Al‑Sc合金溅射靶。所述靶包含1.0at％至65at％的钪和35at％至99at％的铝，并且具有包括第一铝基体相和均匀散布于第一铝基体相中的第二相的微观结构。第二相包含对应于式Sc |
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| 搜索关键词： | 复合材料 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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