[发明专利]衬垫调节装置清洁系统在审
| 申请号： | 202180044134.1 | 申请日： | 2021-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN115916465A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 沙塔努·拉吉夫·加吉尔;苏米特·苏巴什·帕坦卡;内森·阿伦·戴维斯;迈克尔·J·考夫林;艾伦·L·丹布拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/00;B24B37/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种衬垫调节装置头清洁工具，具有第一夹具，构造成在第一位置处可移除地接合海绵的第一部分抵靠盘状衬垫调节装置头的外部表面；第二夹具，构造成在第二位置处可移除地接合海绵的第二部分抵靠盘状衬垫调节装置头的外部表面；和臂，将第一夹具耦接至第二夹具。臂足够弹性以准许第一夹具和第二夹具分开，以配接在盘状衬垫调节装置头四周，且足够拉伸以向内偏移第一夹具和第二夹具，以按压海绵抵靠衬垫调节装置头的外部表面。 | ||
| 搜索关键词： | 衬垫 调节 装置 清洁 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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